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전자신문 2026-01-22 10:04
삼성, 美 테일러에 'EUV 펠리클' 우선 도입…양산 임박
삼성전자가 미국 테일러 팹에 EUV 펠리클을 우선 도입하기로 결정했다. EUV 펠리클은 첨단 반도체 공정의 생산성을 높이는 핵심 부품이다. 이번 도입은 삼성전자의 차세대 반도체 생산 경쟁력 강화에 기여할 것으로 예상된다.
삼성전자 EUV펠리클 테일러팹 반도체 생산성
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